Snelheid, resolutie, 2D of 3D - afhankelijk van de toepassing hebben fabrikanten verschillende prioriteiten bij het inspecteren van halfgeleiderproducten. Comet Yxlon biedt een verscheidenheid aan röntgen- en CT-inspectiesystemen die zijn afgestemd op specifieke inspectietaken.

2D röntgeninspectie

• Snelle beeldgeneratie, ideaal voor inspecties tijdens het proces
• Voornaamste toepassing: traditionele verpakking
• Inspectie van eenvoudige draadverbindingen, vias en soldeerhobbels
• Verkrijgbaar met Cheetah en Cougar - het beste beeld in de kortste tijd met sub-micrometer resolutie

Computer Laminografie (CL)

• Bepaling van de ruimtelijke eigenschappen van componenten en de positie en grootte van defecten
• Voornaamste toepassing: Geavanceerde verpakking
• Monstername-inspectie van meerlaagse verpakkingen en geïntegreerde apparaten
• Beschikbaar voor Cheetah en Cougar met verticaal bundeltraject en hoogste resolutie en voor de FF20 CT en FF35 CT-systemen met horizontaal bundeltraject

3D computertomografie (CT)

• 3D-metingen om ruimtelijke eigenschappen, defectpositie en afmetingen te bepalen
• Voornaamste toepassing: gedetailleerde defectanalyse
• Beschikbaar met de FF20 CT- en FF35 CT-systemen met intuïtieve bediening dankzij de Geminy gebruikersinterface en als add-on met Cheetah en Cougar
• CT metrologie