Het KIVOS-concept

KIVOS is een zeer flexibel, modulair concept voor plasmasystemen. Deze systemen kunnen worden gebruikt voor een breed scala aan toepassingen, zoals het fijn reinigen en activeren van oppervlakken, reactief ionetsen (RIE) en coaten (PECVD, PVD). Dankzij dit concept kan AURION hoogontwikkelde producten produceren tegen gunstige prijzen. Onze klanten profiteren van dit prijsvoordeel. Een ander voordeel is dat één systeem kan worden gebruikt voor zeer verschillende toepassingen.

Het basisidee achter dit concept is om zoveel mogelijk componenten van een systeem gemakkelijk uitwisselbaar te maken. Dit betekent zowel onderling uitwisselbaar als vervangbaar door nieuwe componenten, bijvoorbeeld voor een nieuwe toepassing.

Zoals de schets hieronder laat zien, is het basiselement van de proceskamer een kubusvormig roestvrijstalen frame. Aan dit frame zijn zes metalen platen (modules) bevestigd die verschillende functies vervullen. De modules zijn gemaakt van roestvrij staal of aluminium, afhankelijk van de toepassing.

Door de identieke afmetingen van alle modules (kubusvorm!!) kunnen ze zonder veel moeite onderling of met andere componenten worden verwisseld. Dit betekent dat er geen compleet nieuwe proceskamer hoeft te worden aangeschaft voor een iets andere toepassing, waarvoor misschien alleen twee nieuwe flenzen of een andere kamerdeur nodig zijn. In sommige gevallen is het zelfs voldoende om twee of drie modules door elkaar te vervangen.