Aurion Anlagentechnik GmbH
Aurion Anlagentechnik GmbH
Plasma Cluster Systemen van Aurion Anlagentechnik GmbH
AURION biedt op maat gemaakte meerkamersystemen met substraatbehandeling onder vacuüm. De beschikbare configuraties omvatten slotkamers, overdrachtskamers en procesmodules voor sputter- en RIE-processen.