Catalogus

Aurion Anlagentechnik GmbH

Aurion Anlagentechnik GmbH

  • DIN EN ISO 9001:2015

Aurion Anlagentechnik GmbH

  • DIN EN ISO 9001:2015

Terug naar het overzicht

Plasma Cluster Systemen van Aurion Anlagentechnik GmbH

Product aanvraag  

AURION biedt op maat gemaakte meerkamersystemen met substraatbehandeling onder vacuüm. De beschikbare configuraties omvatten slotkamers, overdrachtskamers en procesmodules voor sputter- en RIE-processen.

Product aanvraag