Stäubli Electrical Connectors AG

Fabrikant
Zwitserland
Website
Product aanvraag
Telefoonnummer

DIN EN ISO 9001

Fabrikant
Zwitserland
Website
Product aanvraag
Telefoonnummer

DIN EN ISO 9001

Cleanroomrobots voor halfgeleidertechnologie van Stäubli Electrical Connectors AG

Onze cleanroom robot oplossingen combineren precisie, snelheid en netheid

In termen van precisie en snelheidgecombineerd met een verminderde deeltjes contaminatie, stellen elektronica en halfgeleider productie hoge eisen aan automatisering. Onze robots kunnen silicium wafers, FOUPs/cassettes alsook fotomaskers en panelen behandelen met een uitzonderlijk hoge precisie en snelheid en met trillingsarme bewegingen doorheen de volledige waardeketen van de halfgeleiderproductie.

Speciaal ontwikkeld voor de halfgeleiderindustrie

De speciaal ontwikkelde Supercleanroom (SCR) zesassige robots zijn ontworpen voor de strenge eisen in cleanroomomgevingen. Ze voldoen aan ISO 14644-1 klasse 2/3 of FED209E subklasse 1. De machines hebben een volledig ingekapselde arm van polyurethaan met een speciale coating en worden gekenmerkt door een indrukwekkende wendbaarheid in kleine ruimtes. De SCR-robots van Stäubli bieden meer flexibiliteit, een hoger laadvermogen en een groter bereik in vergelijking met andere robots voor waferproductie. Ze voldoen dus aan alle vereisten voor het manipuleren van wafers, fotomaskers en cassettes. Dankzij de kleine voetafdruk van de robots kan waardevolle installatieruimte bespaard worden in de speciale machines.