Product aanvraag
Plasma wordt gebruikt voor een groot aantal taken bij de oppervlaktebehandeling, d.w.z. coating, activering van polymeren, etsen van micro elektronische componenten en reiniging. Voor het reinigen van oppervlakken worden momenteel verschillende methoden voor het genereren van plasma gebruikt: Radiofrequenties (40 kHz en 13,56 MHz) en microgolven. Typische gasmengsels bevatten zuurstof, argon en soms waterstof en carbontetrafluoride.