Product aanvraag
Plasma wordt gebruikt voor veel taken in de oppervlaktebehandeling, zoals het coaten, het activeren van polymeren, het etsen van micro-elektronische componenten en het reinigen. Voor het reinigen van oppervlakken worden momenteel verschillende methoden voor het genereren van plasma gebruikt: Radiofrequenties (40 kHz en 13,56 MHz) en microgolven. Typische gasmengsels bevatten zuurstof, argon en soms waterstof en carbontetrafluoride.